icp是什么表征表面结构改性


苏氨酸水溶液共沉淀法需要准备铝酸钴纳米颜料吗

苏氨酸水溶液共沉淀法需要准备铝酸钴纳米颜料吗?

采用苏氨酸共沉淀法制备了一种具有亮蓝色和良好分散性的新型铝酸钴CoAl 

4 纳米颜料。苏氨酸作为氢氧化物前体的成核和组装的配位和结构导向试剂,在煅烧过程中限制 CoAl
O 4纳米颗粒的生长,并微调最终产品中 Co/Al 的摩尔比。
产物用XRD 、FESEM、TEM 、FTIR表征 、DLS、EDX、ICP-AES 和 UV-vis。考察了不同苏氨酸和不含苏氨酸2O4纳米颜料的粒径、色度值和印刷油墨性能。
研究表明,苏氨酸含量为0.1-0.2 毫升/升的CoAl2O4纳米颜料显示出比其他测试样品更小的10-20 纳米尺寸,更好的分散性和颜色性能。
还讨论2O4的显色机理铝酸钴 CoAl 

是尖晶石型氧化物AB 

4,其中A和B分别代表二价和三价金属阳离子。尖晶石型氧化物是一种特别稳定的材料,可以在高温和恶劣的化学环境中保持性能。
由于Co 2+的dd跃迁的存在,铝酸钴呈蓝色,铝酸钴又称德纳德蓝。结构和优异性能使铝酸钴在许多应用中很有前途,例如颜料、磁性材料催化剂和传感器 。
在颜料方面,由于其突出的稳定性,与各种有机和无机蓝色颜料相比,具有更多的优势。已成功应用于油漆、装饰和防护涂料、陶瓷材料的着色中去。
目前,已经报道了多种铝酸钴的合成方法。
所有方法可分为三种反应:固相、液相和气相反应。
铝酸钴的常规制备方法是固相反应,但煅烧过程是高温和长时间的。铝酸钴在高温煅烧过程中容易聚集,导致在油漆和油墨中的分散性差。
而且产品粒径大,易团聚。气相反应得到铝酸钴质量好但成本非常高。液相反应介于固相反应和气相反应之间,具有多种方法。在这些液相合成方法中,纳米结构铝酸钴的制备方法作为颜料受到了极大的关注。
例如,库马尔等人通过溶胶-凝胶法合成了 7–27纳米 的铝酸钴,但该过程需要大量溶剂和额外的凝胶化时间。
钱德拉达斯等人使用表面活性剂通过反相微乳液合成了 42–57 纳米 的 铝酸钴,但过程繁琐。
和金等人合成铝酸钴具有狭窄的尺寸分布和小于 100 纳米的平均粒径通过水热不煅烧,但实验需要高温和高压,成本高且处于危险之中。
共沉淀法成本低、工艺简单,在其中很有前途;张等。等人通过共沉淀法合成了铝酸钴/埃洛石纳米杂化颜料,可以降低成本并在一定程度上防止聚集。然而,制备过程需要碱性介质,粒度和粒度分布控制需要改进。
因此,很难找到一种简便的方法来制造 铝酸钴具有高染色力的纳米颜料,改善了铝酸钴的光学性能。
尖晶石铝酸钴结构包含四面体中的二价金属离子(Co 2+ )和八面体中的三价金属离子(Al 3+ )。铝酸钴的颜色来源于Co 2+的dd跃迁。蓝色分配给四面体配位的 Co 2+ 。而八面体 Co 2+和 Co 3+将分别带来紫色和绿色化合物 。
在合成过程中,铝酸钴的颜色通常是蓝色和微妙的绿色。关于哪些因素会影响颜色,目前还没有达成共识。一些研究提出,煅烧温度确实会影响铝酸钴的颜色。
一些人认为 Co/Al 的摩尔比可能会有所不同。结构如何影响颜色尚无定论。有人认为这是由于存在晶体 Co 

。而其他人指出倒尖晶石和反转参数是原因 。铝酸钴的显色机理需要更详细地研究。

结论:
综上所述了解到了,通过苏氨酸的配位和结构导向调整,描述了一种在室温和中性介质条件下制备具有亮蓝色和良好分散性的铝酸钴纳米颜料的新型简便制备方法。
苏氨酸作为金属离子和苏氨酸官能团之间的配位试剂。而苏氨酸分子存在于氢氧化物前体表面,限制了铝酸钴纳米粒子的进一步聚集和生长。

马拉加·希布莱亚模式的岩石学足迹

马拉加·希布莱亚模式的岩石学足迹,突出了人类与地中海火山的相互作用。

马拉加·希布莱亚是西西里最古老的希腊殖民地之
一,它建于公元前 728 年,位于该岛的东海岸,自 1949 年以来,作为 Soprintendenza della Sicilia Orientale 和 École Française de Rome 之间协议的一部分,对该地点进行了勘探。

Megara Hyblaea 经历了两个主要的定居阶段,一个是古风时期,另一个是希腊化时期,尽管上述两个繁荣时期都以残酷的破坏而告终,但发掘表明该遗址几乎一直有人居住。
直到公元四世纪,在 Megara Hyblaea 发现的大量磨石包括 123 块谷物磨石,其中 119 块由火山岩型制成,包括马鞍磨石、漏斗橡胶磨石和 antina 型磨石,以及复合磨石的元素又称德连型。

四个由沉积岩制成并对应于,罗马晚期零星定居点的手动旋转磨盘超出了当前工作的目标,我们对火山文物中的 57 个代表性样本,进行了岩石学和地球化学研究。

按磨削技术演进,这些磨石涵盖了 Megara Hyblaea 的古代、古典和希腊化时期,这无疑是希腊西西里岛最重要的磨石案例研究。

鞍-坎是地中海最古老的研磨装置,自旧石器时代晚期以来使用,在 Megara Hyblaea 中使用最多,由各种形状的上部石块和厚椭圆形或四边形下部石块组成。

公元前
5 世纪初,研磨装置的一项重大创新促成了料斗橡胶磨石的制造,也称为奥林斯磨,一直使用到罗马时期。

Megara Hyblaea 4的一个漏斗磨石显示了这一点,椭圆形并配备了一个槽,根据杠杆原理添加一个简单的机构,可以放大上石的运动,然后开发了一种标准类型的料斗橡胶磨石,带有一个矩形的上石,上面装有用于固定木头的切屑手柄。

中型旋转磨机出现在地中海中部:antina 型磨石,下部不动的下部石头只是圆锥形,上部石头略微呈双锥形,上部截锥也有两个“耳朵状”的元件,木把手固定在那里,允许一两个人绕着它走动来操作磨机。

这些磨石的名称源自恩纳附近的 antina 考古遗址,在那里发现了大量磨石,这种研磨装置仅在地中海中部发现,即主要在最接近布匿球体的地区。

它出现于公元前
4 世纪初,并且至少在公元前
2 世纪,还在西西里岛使用,之后才被更大的、完美的双锥形磨盘所取代,即所谓的庞贝磨坊。antina 型旋转磨盘在希腊西西里岛的广泛使用,与该岛东部的繁荣时期相吻合,这是由于锡拉丘兹的希伦二世 的相对和平统治17为发明这种更高效的旋转磨机提供了理想的环境。

在 Megara Hyblaea中发现了 11 个保存完好的部分破碎的 antina 型磨石,一个meta是在一座建于公元前三世纪的希腊化房屋中发现的,适合这种磨坊的底座也存在于,公元前一世纪的一家面包店中。

Megara Hyblaea 考古遗址的采样大部分,是在已经部分破碎的磨石碎片上进行的,因为只有少数情况下有完整的人工制品。

根据反映研磨技术演变的不同形状,我们选取57 块火山磨石样品进行薄片矿物学,和岩石学研究,代表四种研磨装置:31 块来自马鞍磨石的碎片,料斗橡胶磨石碎片六块,11 个来自旋转 antina 型磨石的样品和旋转复合德连型磨石的九个单一元素碎片,使用偏光显微镜进行薄片岩相学,以表征所有 57 各样品的模态矿物学和结构。

全岩化学成分在 Activation Laboratories LTD通过 ICP-OES,和 ICP-MS测定分别用于主要和微量元素。

在古典和希腊化时期晚期,西西里岛的繁荣和经济繁荣时期,埃特纳火山成为 Megara Hyblaea 定居点的主要磨石生产区,用于矩形料斗橡胶磨石,和用莫格石大量制造的复合 Delian 型磨粉机。
这也得到了 antina 型磨石的支持,主要以埃特纳火山的 mugearites 为代表,其次是 Hyblaean 山脉的 Tholeitic 玄武岩安山岩和来自撒丁岛的 Mulargia 流纹英安岩 ignimbrite,后一种起源证明了 Megara Hyblaea 也部分融入了地中海中部的区域贸易网络。

参考文献:
【1】对 Megara Hyblaea希腊殖民地磨石的首次研究。
【2】地中海古代谷物碾磨系统调查。
【3】为人民准备的面包:磨坊和碾磨的考古学。
【4】来自西西里岛Selinunte 的火山岩磨石:考古证据和地球化学来源分析。
【5】来自意大利最开发火山区的磨石贸易:从腓尼基人到罗马时期的概览。
【6】来自 antina考古遗址的火山磨石:地中海地区铣削技术的起源和演变。

材料表面的平均吸附焓

材料表面的平均吸附焓
 
采用高通量的方法来确定反应条件,形成Mn三唑框架。
 
在96孔板中,对pH和共溶剂等变量进行了筛选和结果用粉末x射线衍射法对纳米粉末进行了表征。
 
产生晶体材料的条件被调整以合成数量。1、3、5-三苯(三唑-5-烷基)苯(H3BTTri)的反应MnCl2.4H2O和盐酸在4:1混合DMF:甲醇在100º
C,提供灰白色固体配方和热重实验。
 
基础框架Mn通过x射线粉末测定,BTTri分别与锰和铜四唑框架、Mn-BTT和Cu-BTT具有等结构性衍射图。
 
对衍射模式的细化显示,Mn-BTTri和Mn-BTT的单元格尺寸相当。描述的数据利用Mn-BTT和Cu-BTT的a值对Mn-BTTri进行了初步表征。
 
这些框架的公式单位已被确定,通过x射线粉末衍射。x射线结构分析显示,这些框架显示立方拓扑,其中M4Cl团簇由8个四唑酸基团协调。
 
这些有机化结构产生一个阴离子框架,电荷平衡的协调不饱和金属阳离子桥接四唑氮。
 
当溶解时,两个独立的开放金属位点是铅和9.5(Cu-BTT)kJ/mol的氢结合焓。并不是所有的甲醇分子都能从Mn-BTT中去除。尝试到除去这些甲醇会导致框架坍塌。
 
因此,Mn-BTTri是一个重要的目标。
 
由于部分溶剂化的Mn-BTT已经显示出较高的氢结合焓,一个类似的分数在完全去除甲醇后保持其结构完整性的电子将是一种很有前途的储氢材料。
 
此外,含有H3BTTri的铜框架Cu-BTTri已经成为合成并显示出比Cu-BTT更高的热力学和水解稳定性。
 
事实上,Mn-BTTri在空气中可以稳定数周,而四唑酸盐框架开始在空气中分解工作时间很短。通过对Mn-BTTri-MeOH的脱溶,获得了多孔固体的储气容量和氢吸附焓的最佳测量方法并配合金属阳离子必须去除。
 
为了在低于框架分解温度的温度下实现这一点,使用低沸点溶剂如甲醇进行替代合成用于合成的高沸点溶剂,如DMF。
 
索希莱特萃取,是对过去倒析和交换溶剂的交换方法的改进,DMF与甲醇在孔中残留DMF。
 
红外碳基拉伸证明了这一点。然而,结合的DMF很容易被利用Mn-BTTri的热稳定性和在130ºC的新鲜蒸馏甲醇中加热。这导致了完全交换的框架。
 
采用这种策略对Cu-BTTri进行脱溶,可以去除81个所有客体甲醇,这从1651 c处红外光谱肩的损失可以看出,通过真空加热尝试脱除Mn-BTTri-MeOH。
 
Mn-BTTri-MeOH在6 mTorr下加热,温度高达190º
C,导致重量下降21.30%的红外光谱该材料没有显示DMF,但甲醇与金属离子配位仍然存在,在1018cm−1的吸收证明。
 
这种甲醇被认为与外界配合外Mn2+协调Mn-BTT四唑酸环上的两个氮。
 
由于三唑酸盐框架中不同的结构基序,金属离子有可能被单配位到因此,预计该框架与残留溶剂有极强的相互作用。
 
Mn-BTTri Mn-BTTri中的电荷平衡阳离子被设计为一个稳健的框架折痕的热稳定性允许完全去除所有溶剂占据的金属配位位点。
 
然而,并不是所有的偶氮酸金属有机框架都含有外金属阳离子。而是它含外框架铜的Cu-BTTri被质子平衡为H3。
 
这激发了对Mn-BTTri中电荷平衡阳离子的研究设计的目的是结合能够结合氢的外rMn离子。
 
在没有单晶的情况下,由于Mn-BTTri的高顺磁性,实验被设计用来探测框架中的物种,即质子和/或金属阳离子。
 
为了确定Mn-BTTri中的框架反阳离子,我们检测了分离补偿的红外光谱为三唑的N-H拉伸分配一个特定的振动模式。
 
脱溶剂的框架不包含1610cm−1和4000cm−1之间的延伸,这意味着金属阳离子而不是支柱离子被纳入到材料中。
 
正丁基锂,不会导致变化该化合物的红外光谱。因为孔隙内过量的甲醇掩盖了光谱的相关区域。代替了N-H的直接光谱证据在此框架中,通过热重分析和电感耦合等离子体原子吸收光谱确定了锰离子的含量。
 
TGA下的氧气以1ºC/min的上升速率至600º
C,等温加热5小时,得到粉末x射线衍射得到Mn2O3。
 
在合成的框架中锰含量为17%是由合成的剩余质量计算出来的。比质子平衡公式高4%。在无空气ICP-AA实验中,ICP-AA实验得到的锰含量为20.6%,该参数也符合Mn平衡公式。
 
引用文献:
[1]注CO_2提高采收率技术现状及发展趋势
[2]低渗透油藏CO_2吞吐选井条件探讨
[3]滩坝砂特低渗透油藏CO_2驱油技术及应用
[4]草舍泰州组油藏CO_2混相驱效果及二次气驱可行性研究
[5]我国CO_2驱油注采工艺技术现状及下步研究方向

成都双元村墓地出土柳叶形青铜刀的科学分析

成都双元村墓地出土柳叶形青铜刀的科学分析。

柳叶剑是东周时期仅流行于巴蜀两国的一种专属青铜兵器,它的原型可能起源于中亚和印度,是跨地域、跨文化神器的典型例子。

在这里,我们通过pXRF和MC-ICP-MS对成都双元村墓地的蜀国柳叶刀进行了科学研究,并试图通过表征其特征来论证蜀国武器生产的改进和整合,发现元素组成和铅同位素特征。

结果表明,巴、蜀青铜剑的锡含量和铅材料来源存在显著差异,此特征可作为区分柳叶刀与巴蜀刀的重要标志,特别是当外表几乎混乱时。

蜀青铜剑的合金配方受到楚等国青铜器制造技术的影响,结合已公布的柳叶形青铜剑铅同位素数据,可以推断,蜀国生产青铜兵器的频率和批次相当多,这是促使其工艺取得较快进步的一大动因。

在人类文明中,几千年来,几乎无时无刻不笼罩着战争的流血,武器作为文明演进的副产品,是历代政治、经济、军事和文化的综合体,带有一个民族和一个时代的印记,西南地区青铜器时代,柳叶形青铜剑是最常用的兵器,出土文物不仅数量多而且集中。

柳叶形剑是一种独特的青铜兵器类型,可追溯到公元前2000年末至公元前10世纪或中国古代商代晚期和西周时期。

起初,有一种说法认为,柳叶刀最早出现在今陕甘两省的邻近地区,后来,更新的资料使考古学家能够进行更精细的类型学分析,并根据形态变化和发掘地点构建时序图,才意识到以前的观点颠倒了时间顺序,陕西和甘肃才是柳叶状的地区介绍了剑。

普遍的共识是,目前发现的最早的柳叶形青铜剑出土于成都平原的三星堆、十二桥和新义村遗址,即古蜀国。此外,三星堆一号祭祀坑还出土了一把玉剑,与青铜柳叶剑的样式极为相似,这也是年代学的重要证据。

在西亚和南亚的一些更古老的遗址中发现了许多外观非常相似的青铜剑,这导致一些学者推测,柳叶青铜剑起源于公元前三千年的安纳托利亚,然后通过印度和中亚(公元前3000年中期至公元前1500年)传播到中国西南部,大约公元前1300年。

西周时期(公元前1100-771年),柳叶青铜刀从成都平原向北传播到关中地区。春秋战国时期(公元前770-476年)战国时期(公元前475-221年)至西汉初期(公元前202年-公元8年),这种剑先后辐射到四川盆地东部地区,以及川西南、云南、贵州的蛮夷地区。

然而,它们在中原地区很少见。商晚期和西周时期,中原地区以车战为主,刀剑多作为兵器无力时的最后一道防线,是贵族地位的标志。

到春秋战国时期,剑由于比其他长兵器具有更大的灵活性和便携性,逐渐成为中原地区的作战武器,在整个过程中,中原青铜剑与柳叶形青铜剑有着明显的区别。

最大的区别是柳叶刀在平握和刀刃之间没有交叉护板,也没有剑柄,要使用这种类型的剑,木柄会通过穿过握把上一个或两个穿孔的环绕绳索固定在短握把上。另一个差异是柳叶形剑通常与细长的刀片一体铸造,而一些中原青铜剑则采用复杂的分段铸造工艺。

没有木柄的柳叶刀一般长20-30厘米,普遍比中原刀剑短,除了用作近身武器外,柳叶形剑还有多种其他用途。

由于中国西南独特的崎岖地形和树木繁茂的环境,它们有时不利于砍伐,而是可以作为导弹武器在战斗中投掷。与外界冲突的增加也刺激了武器和战术的试验,一些修改以满足新的军事情况,在这些情况下,柳叶形剑甚至可以连接到长轴上并用作长矛。

既然柳叶形青铜剑在实际使用中可能受到了外界因素的影响,那么在制作工艺上会不会融入了中原青铜剑的一些特点呢?青铜器的产生不仅与当时的社会经济组织有关,而且对于研究随葬品的来源和组成也很重要。

作为随葬品,柳叶形青铜剑的制作方式是怎样的?它们的质量是否一致,同一个墓葬群的青铜剑是不是同一批次铸造的,铸造所用的原料是否相同?对成都双元村墓地出土的一组柳叶形青铜剑的分析,可以帮助我们更好地认识这些问题。

本文分析了成都双园村出土的十八件东周蜀国柳叶形青铜剑,它们的形状几乎相同,长度和厚度略有不同。元素组成方面,铜、锡含量相对稳定,然而,铅含量波动很大,一些样品几乎不含铅,而另一些样品则故意添加了铅。

这种青铜兵器的高频生产模式,很符合蜀人好战的性格。可能是受当时外交政策的影响,蜀国与他国的交往更加频繁,技术交流和蜀国自身的大规模制造也刺激了蜀国的技术进步和融合。


参考文献

【1】广汉三星堆遗址第一座祭祀坑发掘简报
【2】我国西南地区青铜刀剑研究
【3】公元前11至10世纪中国西周青铜柳叶形剑的不同生活史

概伦电子与北京大学及上海交通大学联合研发的新一代高精度快速波形发生与测量套件FS-Pro HP-FWGMK正式发布

概伦电子与北京大学及上海交通大学联合研发的新一代高精度快速波形发生与测量套件FS-Pro HP-FWGMK正式发布。FS-Pro是一款半导体器件电学特性分析设备,几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在FS-Pro测试系统中完成。极大地加速了半导体器件与工艺的研发和评估进程。

半导体器件特性测试仪器采集的数据是器件建模及验证EDA工具所需的数据来源。概伦电子的器件建模及验证EDA工具已被台积电、三星电子、联电、格芯、中芯国际等采用。

大连理工大学研发出具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真软件——MAPS。能够对ICP刻蚀机、CCP刻蚀机、PECVD和PVD工艺腔室进行仿真,支持对优化工艺过程参数。得到北方华创、中微半导体设备、拓荆科技、苏州迈为、武汉长江存储、理想能源设备等多家企业的应用。

奥德姆陨石上有何信息

奥德姆陨石上有何信息,是否会对地球造成影响,有何有趣之处?
顽辉石球粒陨石 (EC) 代表最还原的球粒陨石类型。尽管罕见,EC 引起了极大的兴趣,因为它们与陆地样本具有许多同位素特征 氧 、氮 、钼、铬;钛;Xe 和 Kr ;镍 并且有人认为它们可以代表我们星球的主要组成部分 。顽火辉石球粒陨石分为 EH 和 EL 两组,它们的体积铁和硫含量不同。
两组的硫化物矿物学也不同。除了硫陨石 (FeS) 之外,硫陨石 (FeCr
2 S
4 ) 和老铅矿 (CaS) 对这两个族群都很常见,而镍锌矿 ((Mg,Fe)S) 是 EH 球粒陨石和铝榴石 ((Mn,Fe) 的诊断硫化物)S) 特定于。
含有通常亲石元素(Mg、Ca、Mn、Ti、Na)、含硅铁纹石、氮化物、磷化物和碳化物的异常硫化物的存在反映了 EC 形成的高度还原环境。在这些条件下,包括稀土元素 (REE) 和锕系元素在内的元素在陆地条件和其他类型的球粒陨石中是亲石的,往往是亲铁和/或亲铜的。
Oldhamite 因其稀土元素含量而备受关注。先前的研究表明,这一阶段可以携带大约一半的 EC REE 预算,丰度高达球粒陨石值的 100 倍。由于这些元素是高度难熔的,并且大离子 REE 替代了凝析油中的 ,这些观察结果表明 oldhamites 是在早期通过凝结形成的。
可以将它们与富含钙铝的包裹体(例如钙钛矿和锂钙钛矿)中发现的矿物质进行比较,后者首先从太阳气体的冷却中凝结。 在更多还原条件下凝结的热力学模型预测了在冷却和凝结过程中出现老铁矿的顺序。此外,在还原条件下,模型预测稀土元素被掺入到具有负 Eu、Yb 和 Sm 异常特征的最终模式中,因为这些元素在 REE 中具有最低的凝结温度。
相反,来自原始 EH 的 oldhamites显示正 Eu、Yb 和 Sm 异常。这一观察结果与原始 EH 硫化物在还原条件下的假定凝结起源不一致。
CaS/熔体 REE 分配的实验研究成功预测了在原始 EH 球粒陨石中观察到的正 Eu 和 Yb 异常。然而,实验分配系数值的数量级为
1,这使得很难解释 oldhamite 中的高 REE 富集,除非考虑复杂的岩浆历史。
当比较不同的族群和变质类型时,奥德哈姆岩的稀土元素模式会有所不同。这些差异可能涉及总体稀土元素浓度、稀土元素模式中是否存在异常,例如 Eu、Yb 和 Sm,以及异常的符号。然而,文献数据太少,无法完全理解这些化学特征。文献数据还提供了顽火辉石成分的信息 显示不同类型的 REE 模式。为了进一步了解顽辉石球粒陨石的形成条件及其 REE 预算,我们分析了顽辉石球粒陨石集合中的顽火辉石和一些顽辉石,这些陨石涵盖了大多数已知类型。 我们使用激光烧蚀 ICP-MS 进行原位分析。通过这种方法,我们可以将结构位置与矿物成分联系起来,这在使用逐步溶解技术时是不可能的。因此,我们还可以讨论每种方法各自的优点,以及它们的互补性。
结论:
通过激光烧蚀 ICP-MS 对来自大多数已知类型的顽火辉石球粒陨石的奥德姆矿中的稀土元素进行详细分析,记录了 EH 和 EL 之间的鲜明对比。区分了三种主要类型的 oldhamite REE 模式。第一种类型具有显著的正 Eu 和 Yb 异常,是未平衡 EH 球粒陨石 (EH3) 的特征。它可能对应于残余气体的冷凝,遵循类似于戴维斯等人所调用的两阶段过程。对于细粒度的 II 类 CAI。因为整个岩石 EH3 REE 预算不能通过使用单个颗粒成分的质量平衡来再现,所以必须存在一个互补的储层,也许在细粒基质中。该组分不能通过原位方法表征,但其组成可以通过质量平衡来接近。

表面结构改性

表面结构改性
 
虽然非常相似的硅蚀刻具有较高的定量,但石英的等离子蚀刻深度有限。
 
需要更简单的掩蔽方案和工具的选择性蚀刻。
 
具有溅射产率低的掩模,如氧化铝(氧化铝)提供的掩模,由于能够形成非挥发性铝通量,可以帮助蚀刻二氧化硅具有非常高的蚀刻选择性减少硬掩膜厚度的氢氧化物。
 
这样的硬掩模不需要去除,或者如果需要,只是为了保持石英基底的粗糙度。
 
面具用于深二氧化硅的切割仍然是一个相对较新的工艺,在蚀刻过程中产生了非挥发性氟化铝残渣。因此,稳定了一种基于传统口罩的替代过程厚和硬烘烤的光刻胶工作深度到20µm。
 
从石英基底开始,标准的RCA清洁。
 
标准厚涂层光刻胶(SPR220,10µm),硬质烘焙(120C,30 min),以提高蚀刻选择性。
 
使用低功率六氟化硫等离子体的额外PR硬化步骤使PR类特氟龙的外表面,更难物理轰炸。
 
在石英蚀刻过程中,由于石英积累的热量,使用低功率,局部燃烧光刻胶,使其几乎不可能去除。更高的蚀刻功率)是可能通过结合一个“载体”6英寸硅片,作为一个散热器。
 
观察到PR燃烧的效果降低,但通过引入而增加了复杂性与刻蚀步骤之间的时间分段的低功率刻蚀相比,粘合步骤大大增加了我们的冷却步骤的时间。
 
利用基于四氟化碳可以获得壕沟深度20um。其他等离子体蚀刻技术,如平行板等离子体蚀刻也被测试了,然而,尽管等效法与ICP干燥技术相比,切割速率更快,基板和壁壁也更粗糙。
 
一旦图案被转移,就通过清洗晶片桑罗来去除光刻胶残留物再用。在这里,确保没有污染物残留在表面,甚至不是燃烧的光刻胶。
 
由于PR在相对较低的温度下排出,由于射频加热、烘烤或其他过程而增加,使其可能成为额外的离子运动扰动的来源。
 
薄膜金属电极是用传统的电子束沉积沉积的预产期确保沉积以一个角度发生,因此只有顶部表面和沟槽壁被涂层,注意底部保持干净,从而使电极被分开他的战壕不会互相走捷径。
 
这也确保了金属涂层壁将导电表面向下延伸到沟槽的脚部,提供了降低所需的高纵横比来自电介质的射线电场。
 
金属与电介质的粘附是通过沉积以前几纳米的铬或钛层来改善的。
 
陷阱上涂有金,大约为600nm(2个边x 300nm)。一旦薄膜电极沉积下来,就用铝、金或钯线将陷阱连接到传统的芯片载体上熔点最适合高温烘烤程序,尽管具有较高的电阻率。
 
在传统电极的微级点探头装置中,对每个阱电极进行捷径测试。最后,电容器安装在芯片载体中,并有线连接,直流电极被分组,以节省空间,减少陷阱的复杂性,允许其他连接,取决于陷阱的实验使用。
 
将它安装在实验装置中,陷阱准备是最好的做法在一个无颗粒的环境中,就在安装在室之前。
 
陷阱的制造可以通过消除使用化学物质或光阻的需要进一步改进。
 
它还在研究去除表面使用光刻胶留下的残差,使用熔融石英芯片,并利用准分子激光弱蚀刻后,石英芯片在120◦C的食人鱼溶液中清洗,并在真空大于3×10的电子束蒸发器中蒸发金属膜组合不让铝表面在空气中氧化。
 
将陷阱安装在芯片载体上,并在160◦C的真空系统中烘烤三周,以达到真空,表面结构的额外变化将使我们能够了解根据陷阱的表面性质而产生的离子-电极相互作用。
 
似乎有可能改善内部状况被捕获的离子和电极表面之间的接触质量,通过使其表面表现为一个独特的晶体方向的大颗粒,而不是作为一个较小的g的集合不同方向的降雨。
 
此外,由于更容易对单晶表面建立分析噪声模型,因此更容易得到表面表征结果。
 
如果保持在退火温度下由于表面低于溶解度极限,退火后的表面形成的二次晶粒比非退火的铝铜合金或其他合金大3个数量级相同厚度的金属薄膜。
 
为了进行退火在受控的环境下,我们安装在陷阱上,一个由钯制成的加热器。
 
这样,捕获就可以在其初始表面特征发生任何结构变化之前和之后进行,通过安装的表面科学分析工具进行测量。