ICP化工上的意思是指电感耦合等离子体发射光谱法。使用电感耦合等离子体发射光谱法(ICP法)做金属材料化学成分分析在当今世界上现已得到广泛的使用,是一种污染少、流程短的环保性检测方法,为各种材料的生产和应用提供可靠的依据。
ICP(InductivelyCoupledPlasma)刻蚀,即感应耦合等离子体刻蚀
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